瀚文紫外臭氧清洗儀是一款用于無機基材（比如：石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等）表面有機污染物去除的表面清洗設備。

山東瀚文紫外臭氧清洗機是一款用于無機基材（比如：石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等）表面有機污染物去除的表面清洗設備。低壓紫外汞燈能夠同時發射波長254nm和185nm的紫外光，在這兩種短波紫外光的照射下，活化有機物分子與活性氧原子發生氧化反應，生成揮發性氣體逸出樣品表面，從而清除粘附在樣品表面上的有機污染物。